機器詳細
走査型電子顕微鏡
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機器詳細
| 装置ID | E-014K |
|---|---|
| メーカー | 日立製作所 |
| 型番 | S-4300 |
| 主な用途 | 検体表面の微細形態と元素分布の解析 |
| 仕様詳細 | 電界放出型電子銃（FEG）を備えた装置で、加速電圧は0.5 ~ 30 kVの範囲で可変することが可能であり、倍率は20 - 500,000倍、分解能は1.5 nm（15 kV）および 5.0 nm（1 kV）である。高輝度な電子銃により、低加速電圧、例えば、1 kVでも高分解像を得ることができる。また、低加速電圧にて、無蒸着観察の可能な試料もある。装備されたX線分析装置EX-220は炭素などの元素分析ができる。 |
| 利用料金 | 基本測定1件 22,000円 |