機器詳細
走査型電子顕微鏡装置
対象試料Click で表示
解析内容Click で表示
機器詳細
| 装置ID | E-016K |
|---|---|
| メーカー | 日立製作所 |
| 型番 | S-3000N |
| 主な用途 | 生物試料の微細構造の観察 |
| 仕様詳細 | タングステンヘアピン型（熱電子放出型）電子銃を備えた装置であり、加速電圧が 0.3 ~ 30 kVの範囲で使用する。倍率は5 ~ 300,000倍で、二次電子像分解能は3.0 nm（高真空モード、加速電圧25 kV）、反射電子像分解能は4.0 nm（低真空モード、加速電圧 25 kV）である。このSEMの特徴は、低真空270 Pa（約 2 torr）で試料の観察が可能なことである。 |
| 利用料金 | 基本測定1件 22,000円 |